整机 Footprint:1350mmx740mm

工艺运行带自动控压

下电极三针结构，带背氦

标配内衬，工艺稳定性好

支持托盘结构或8寸裸片

Load-Lock 双腔体结构

工艺菜单化，自动运行

下电极高低温控制，精度+0.1℃℃